真空手套箱采用雙層密封時(shí)會(huì)產(chǎn)生的問(wèn)題:
一、中間層真空狀態(tài)下
a. 內(nèi)外層未失效情況:內(nèi)外層往中間層泄漏更快,中間層實(shí)際上是外層空氣和內(nèi)層箱內(nèi)氣體的混合氣,抽真空時(shí)通過(guò)真空泵反饋到系統(tǒng)內(nèi),影響箱體氣氛。
手套箱整體的泄漏率也會(huì)上升。
b. 內(nèi)層失效狀態(tài)下:箱內(nèi)氣體通過(guò)真空泵被大量抽出,氣瓶不停給箱內(nèi)補(bǔ)氣,箱體氣氛會(huì)變得很差,幾乎與氣瓶氣氛相同。
c. 外層失效狀態(tài)下:大量空氣氣體進(jìn)入中間層,真空泵將空氣抽入,并反到手套箱的循環(huán)系統(tǒng)及其它真空室中,對(duì)手套箱體氣氛及凈化柱造成嚴(yán)重影響或破壞。
二、中間層與箱體內(nèi)壓力相同
a. 在內(nèi)外層未失效情況下,箱內(nèi)氣壓不停在變化,中間層要相應(yīng)隨著變化。要加裝壓力傳感器,且需要PLC控制,抽充口會(huì)不停工作,以保證中間層與內(nèi)腔壓力相同,其極復(fù)雜且不可靠。
b. 內(nèi)層失效,箱體內(nèi)氣體會(huì)被大量抽出,并不停充氣,結(jié)果同一(b)。
C. 外層失效,空氣會(huì)被大量抽出,結(jié)果同一(c)
三、中間層壓力大于箱內(nèi)壓力設(shè)定
a. 這種情況,壓力大的會(huì)加速往壓力低的一方泄漏。當(dāng)達(dá)到很小壓差時(shí),會(huì)對(duì)中間層補(bǔ)氣。
B. 當(dāng)內(nèi)層失效時(shí),大量氣體會(huì)進(jìn)入箱內(nèi),使箱內(nèi)壓力等同時(shí)中間層,在系統(tǒng)控制下,要保持中間層壓力高于箱內(nèi),就會(huì)不停補(bǔ)氣,直至手套箱由于壓力過(guò)大停機(jī)或手套脫離。
C. 當(dāng)外層失效時(shí),大量氣體會(huì)排入大氣中。